特种气体系统工程施工的一般性要求
特种气体系统使用的不锈钢管应采用全自动轨道焊机焊接，乌鲁木齐特种气体，高纯氩气保护。安装和试验检测用计量器具应检定合格并在有效期内使用。特种气体系统工程施工前必须编制专项施工方案，并经过业主审批后实施。主要设备材料进场应提供必要资料：产品合格证、质量保证书、性能测试报告；产品安装、使用、维护和试验要求等技术文件；产品规格、型号、数量、设备附件及专用工具。
特种气体系统的设计与施工
辅助系统的设计
气体房和气柜还须有自动喷淋系统，但有的气体如三氟化氯，工业特种气体，硅1烷遇水反应，特种气体公司，这时就还需要考虑采用二氧化碳灭火系统。
排风系统和放空系统也是特气系统的重要组成部分。其排风系统也根据危险品性质分成普通排风系统（GEX）、酸性排风系统（SEX）、溶剂排风系统（VEX）、氨气排风系统（AEX）。普通排风系统采用镀锌铁皮风管，酸性排风一般采用玻璃钢风管，溶剂和氨气排风一般采用不锈钢风管。气柜的排风也是根据其性质接入上面不同的排风系统。
特种气体管道的施工
特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。Zui后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。
其现场基本的施工程序为：施工图纸会审﹣→施工组织编写﹣→预制间的搭设﹣→施工机具的准备﹣→施工人员的培训﹣→预制图纸的编写﹣→管道的预制﹣→管道的现场安装﹣→系统检测﹣→系统验收
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